1. 소형화되고 분리가능한 디자인, 나르고 가르치게 아주 쉬운
2. 레이저 검출 헤드와 샘플 스캐닝 스테이지가 통합되어 구조가 매우 안정적이며 간섭 방지가 강합니다.
3. 정밀 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스폿 정렬 조정이 매우 쉽습니다.
4. 단일 축은 샘플을 자동으로 프로브에 수직으로 접근하도록 구동하여 바늘 끝이 샘플에 수직으로 스캔되도록 합니다.
5. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식은 프로브와 샘플을 보호합니다.
6. 자동 광학 포지셔닝, 집중할 필요 없음, 프로브 샘플 스캐닝 영역의 실시간 관찰 및 포지셔닝
7. 스프링 서스펜션 충격 방지 방법, 간단하고 실용적인, 좋은 충격 방지 효과
8. 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 나노미터 특성화 및 98% 이상의 측정 정확도
명세서:
작동 모드 | 터치 모드, 탭 모드 |
옵션 모드 | 마찰/횡력, 진폭/위상, 자기력/정전기력 |
힘 스펙트럼 곡선 | FZ 힘 곡선, RMS-Z 곡선 |
XY 스캔 범위 | 20*20um, 옵션 50*50um, 100*100um |
Z 스캔 범위 | 2.5um, 옵션 5um, 10um |
스캔 해상도 | 수평 0.2nm, 수직 0.05nm |
표본의 크기 | Φ≤90mm, H≤20mm |
샘플 스테이지 여행 | 15*15mm |
광학 관찰 | 4X 광학 대물 렌즈/2.5um 해상도 |
스캔 속도 | 0.6Hz-30Hz |
스캔 각도 | 0-360° |
운영 환경 | 윈도우 XP/7/8/10 운영 체제 |
통신 인터페이스 | USB2.0/3.0 |
충격 흡수 디자인 | 스프링 중단 |
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