1. 광학 금속 현미경과 원자력 현미경의 통합 설계, 강력한 기능

2. 그것은 서로 영향을 미치지 않고 동시에 작동할 수 있는 광학 현미경과 원자력 현미경 이미징 기능을 모두 가지고 있습니다.

3. 동시에 광학 2차원 측정 및 원자력 현미경 3차원 측정 기능을 가지고 있습니다.

4. 레이저 검출 헤드와 샘플 스캐닝 스테이지가 통합되어 구조가 매우 안정적이며 간섭 방지가 강합니다.

5. 정밀 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스폿 정렬 조정이 매우 쉽습니다.

6. 단일 축 드라이브 샘플이 자동으로 프로브에 수직으로 접근하여 바늘 끝이 샘플에 수직으로 스캔됩니다.

7. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식은 프로브와 시료를 보호합니다.

8. 프로브 및 샘플 스캐닝 영역의 정밀한 포지셔닝을 달성하기 위한 초고배율 광학 포지셔닝 시스템

9. 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 98% 이상의 나노미터 특성화 및 측정 정확도

명세서: