애플리케이션
올인원 디자인, 스마트 구조 및 모양. 스캔 헤드와 샘플 스테이지가 함께 설계되어 강력한 진동 방지 성능. 정밀 레이저 감지 및 프로브 정렬 장치로 레이저 조정이 간단하고 쉽습니다. 수동으로 팁에 접근하는 샘플을 구동하도록 서보 모터를 조정하십시오. 또는 자동으로 정밀 스캐닝 영역 포지셔닝을 실현합니다. 고정확도 및 넓은 범위의 시료 이송 장치를 통해 시료의 관심 영역을 스캔할 수 있습니다. 포지셔닝. 실시간 샘플 영역 관찰 및 위치를 위한 CCD 관찰 시스템, CCD 자동 초점 전자 시스템을 달성하기 위해 서보 모터를 사용하십시오.
주요 특징들
1. 스캔 헤드와 샘플 스테이지가 함께 설계되어 강력한 방진 성능
2. 정밀 레이저 감지 및 프로브 정렬 장치는 레이저 조정을 간단하고 쉽게 만듭니다.
3. 정밀 스캐닝 영역 포지셔닝을 실현하기 위해 수동 또는 자동으로 팁에 접근하는 샘플을 구동하도록 서보 모터를 조정하십시오.
4. 높은 정확도와 넓은 범위의 시료 이송 장치를 통해 시료의 관심 영역을 스캔할 수 있습니다.
5. 팁 확인 및 샘플 위치 지정을 위한 광학 관찰 시스템.
6. 전자 시스템은 모듈식으로 설계되어 유지 보수 및 추가 개발이 용이합니다.
7. 진동 차단, 간단하고 우수한 성능을 위해 스프링을 채택하십시오.
사양
| 작업 | 접촉 모드, 마찰 모드, | 스캔 각도 | 무작위의 |
| 표본의 크기 | Ø≤90mm, H≤20mm | 샘플 이동 | 0~20mm |
| 최대주사 | X/Y: 20μm, Z: 2μm | 접근 모터의 펄스 폭 | 10±2ms |
| 해결 | X/Y: 0.2nm, Z: 0.05nm | 광학계 | 배율: 4배, |
| 스캔 속도 | 0.6Hz~4.34Hz | 데이터 점수 | 256×256,512×512 |
| 스캐닝 | XY: 18비트 D/A, Z: 16비트 D/A | 피드백 유형 | DSP 디지털 피드백 |
| 데이터 샘플링 | 하나의 14비트 A/D 및 이중 16비트 A/D 다중 채널 동시 | ||
| PC 연결 | USB2.0 | 피드백 샘플링 속도 | 64.0KHz |
| 윈도우 | Windows 98/2000/XP/7/8과 호환 가능 | ||
기준
GB/T 2985-1991년
실제 사진
