1. 광학 금속성 현미경 및 원자력 현미경의 통합 설계, 강력한 기능
2. 광학 현미경 및 원자력 현미경 영상화 기능이 모두 있으며 둘 다 서로 영향을 미치지 않고 동시에 작동 할 수 있습니다.
3. 동시에, 광학 2 차원 측정 및 원자력 현미경 3 차원 측정 기능이 있습니다.
4. 레이저 감지 헤드와 샘플 스캐닝 단계가 통합되고 구조가 매우 안정적이며 항 회의가 강력합니다.
5. 정밀 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스팟 정렬 조정은 매우 쉽습니다.
6. 단일 축 드라이브 샘플은 프로브에 수직으로 자동으로 접근하여 바늘 끝이 샘플에 수직으로 스캔됩니다.
7. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 수유 방법은 프로브와 샘플을 보호합니다.
8. 프로브 및 샘플 스캐닝 영역의 정확한 위치를 달성하기위한 초고 확대 광학 위치 시스템
9. 통합 스캐너 비선형 교정 사용자 편집기, 나노 미터 특성화 및 측정 정확도 98%보다 나은 것
명세서:
작동 모드 | 터치 모드, 탭 모드 |
선택 모드 | 마찰/측면 힘, 진폭/상, 자기/정전기력 |
힘 스펙트럼 곡선 | FZ 힘 곡선, RMS-Z 곡선 |
XY 스캔 범위 | 50*50um, 옵션 20*20um, 100*100um |
Z 스캔 범위 | 5UM, 옵션 2UM, 10UM |
스캔 해상도 | 수평 0.2nm, 수직 0.05nm |
샘플 크기 | φ≤68mm, H≤20mm |
샘플 스테이지 여행 | 25*25mm |
광학 접안 렌즈 | 10x |
광학 목표 | 5x/10x/20x/50x 계획 apochromatic 목표 |
조명 방법 | Le Kohler 조명 시스템 |
광학 초점 | 거친 수동 초점 |
카메라 | 5MP CMOS 센서 |
표시하다 | 그래프 관련 측정 기능이있는 10.1 인치 평면 패널 디스플레이 |
스캔 속도 | 0.6Hz-30Hz |
스캔 각도 | 0-360 ° |
운영 환경 | Windows XP/7/8/10 운영 체제 |
통신 인터페이스 | USB2.0/3.0 |
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