1. 레이저 감지 헤드와 샘플 스캐닝 단계가 통합되고 구조가 매우 안정적이며 반 간 회의가 강력합니다.
2. 예비 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스팟 정렬 조정은 매우 쉽습니다.
3. 단일 축-축 드라이브 샘플은 샘플 스캔에 수직 인 바늘 팁이 수직으로 프로브에 자동으로 접근합니다.
4. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 수유 방법은 프로브와 샘플을 보호합니다.
5. 해상 광학 위치, 초점이 필요 없음, 프로브 샘플 스캐닝 영역의 실시간 관찰 및 위치
6. 스프링 서스펜션 충격 방지 방법, 단순하고 실용적이며 좋은 충격 방지 효과
7. 금속 차폐 방음 상자, 내장 고정화 온도 및 습도 센서, 작업 환경의 실시간 모니터링
8. 통합 스캐너 비선형 교정 사용자 편집기, 나노 미터 특성화 및 측정 정확도 98%보다 나은 것
작동 모드 | 터치 모드, 탭 모드 |
선택 모드 | 마찰/측면 힘, 진폭/상, 자기/정전기력 |
힘 스펙트럼 곡선 | FZ 힘 곡선, RMS-Z 곡선 |
XY 스캔 범위 | 20*20um, 옵션 50*50um, 100*100um |
Z 스캔 범위 | 2.5UM, 옵션 5UM, 10UM |
스캔 해상도 | 수평 0.2nm, 수직 0.05nm |
샘플 크기 | φ≤90mm, H≤20mm |
샘플 스테이지 여행 | 15*15mm |
광학 관찰 | 4 배 광학 대물 렌즈/2.5um 해상도 |
스캔 속도 | 0.6Hz-30Hz |
스캔 각도 | 0-360 ° |
운영 환경 | Windows XP/7/8/10 운영 체제 |
통신 인터페이스 | USB2.0/3.0 |
충격 흡수 설계 | 스프링 매달린/금속 차폐 상자 |
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