1. 레이저 검출 헤드와 샘플 스캐닝 스테이지가 통합되어 구조가 매우 안정적이며 간섭 방지가 강합니다.
2. 정밀 프로브 포지셔닝 장치, 레이저 스폿 정렬 조정이 매우 쉽습니다.
3.Single-axis 드라이브 샘플은 바늘 끝이 샘플 스캔에 수직이 되도록 자동으로 프로브에 수직으로 접근합니다.
4. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식은 프로브와 샘플을 보호합니다.
5. 자동 광학 포지셔닝, 초점을 맞출 필요 없음, 프로브 샘플 스캐닝 영역의 실시간 관찰 및 포지셔닝
6. 스프링 서스펜션 충격 방지 방법, 간단하고 실용적이며 우수한 충격 방지 효과
7. 금속 차폐 방음 상자, 고정밀 온도 및 습도 센서 내장, 작업 환경 실시간 모니터링
8. 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 나노미터 특성화 및 98% 이상의 측정 정확도
작동 모드 | 터치 모드, 탭 모드 |
옵션 모드 | 마찰/횡력, 진폭/위상, 자기력/정전기력 |
힘 스펙트럼 곡선 | FZ 힘 곡선, RMS-Z 곡선 |
XY 스캔 범위 | 20*20um, 옵션 50*50um, 100*100um |
Z 스캔 범위 | 2.5um, 옵션 5um, 10um |
스캔 해상도 | 수평 0.2nm, 수직 0.05nm |
표본의 크기 | Φ≤90mm, H≤20mm |
샘플 스테이지 여행 | 15*15mm |
광학 관찰 | 4X 광학 대물 렌즈/2.5um 해상도 |
스캔 속도 | 0.6Hz-30Hz |
스캔 각도 | 0-360° |
운영 환경 | 윈도우 XP/7/8/10 운영 체제 |
통신 인터페이스 | USB2.0/3.0 |
충격 흡수 디자인 | 스프링 서스펜션/금속 차폐 박스 |
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