1. 광학 금속학 현미경과 원자력 현미경의 통합 설계, 강력한 기능

2. 광학현미경과 원자간력현미경 이미징 기능을 모두 가지고 있어 서로 영향을 주지 않고 동시에 작동할 수 있습니다.

3. 일반 공기 환경, 액체 환경, 온도 제어 환경 및 불활성 가스 제어 환경에서 동시에 작업 가능

4. 샘플 스캐닝 테이블과 레이저 검출 헤드가 밀폐형으로 설계되어 밀봉 커버를 추가하지 않고도 내부에 특수 가스를 채우고 배출할 수 있습니다.

5. 레이저 검출은 수직 광학 경로 설계를 채택하고 기체-액체 이중 목적 프로브 홀더를 사용하여 액체에서 작동할 수 있습니다.

6. 단일 축 드라이브 샘플이 자동으로 프로브에 수직으로 접근하여 바늘 끝이 샘플에 수직으로 스캔됩니다.

7. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 공급 방식은 프로브와 시료를 보호합니다.

8. 프로브 및 샘플 스캐닝 영역의 정밀한 포지셔닝을 달성하기 위한 초고배율 광학 포지셔닝 시스템

9. 통합 스캐너 비선형 보정 사용자 편집기, 98% 이상의 나노미터 특성화 및 측정 정확도

명세서: