1. 광학 금속성 현미경 및 원자력 현미경의 통합 설계, 강력한 기능

2. 광학 현미경과 원자력 현미경 이미징 기능이 모두 있으며, 둘 다 서로 영향을 미치지 않고 동시에 작동 할 수 있습니다.

3. 일반 공기 환경, 액체 환경, 온도 제어 환경 및 동시에 비활성 가스 제어 환경에서 작동 할 수 있습니다.

4. 샘플 스캐닝 테이블과 레이저 감지 헤드는 닫힌 유형으로 설계되었으며 밀봉 덮개를 추가하지 않고 내부에 특수 가스를 채우고 배출 할 수 있습니다.

5. 레이저 감지는 수직 광학 경로 설계를 채택하고 가스 액체 이중 목적 프로브 홀더로 액체 아래에서 작동 할 수 있습니다.

6. 단일 축 드라이브 샘플은 프로브에 수직으로 자동으로 접근하여 바늘 끝이 샘플에 수직으로 스캔됩니다.

7. 모터 제어 가압 압전 세라믹 자동 감지의 지능형 바늘 수유 방법은 프로브와 샘플을 보호합니다.

8. 프로브 및 샘플 스캐닝 영역의 정확한 위치를 달성하기위한 초고 확대 광학 위치 시스템

9. 통합 스캐너 비선형 교정 사용자 편집기, 나노 미터 특성화 및 측정 정확도 98%보다 나은 것

명세서: