애플리케이션
All-In-One Design, Smart Struction 및 Shape.scan 헤드 및 샘플 스테이지는 함께 설계되었습니다. 강력한 안티 진동 성능. 예비 레이저 감지 및 프로브 정렬 장치는 레이저 조정을 간단하고 쉽게 만듭니다. Servomotor는 샘플 접근 팁을 수동으로 구동하도록합니다. 또는 자동으로, 정밀 스캐닝 영역 위치를 실현하기 위해, 높은 정확도 및 광범위한 샘플 전송 장치는 흥미로운 샘플의 모든 흥미로운 영역을 스캔 할 수 있습니다. 다른 유형의 스캐너는 정확도 및 스캔 크기의 다른 고객의 요구 사항을 충족합니다. 팁 점검 및 샘플을위한 광학 관찰 시스템. CCD 자동 초점 전자 시스템을 달성하기 위해 Servomotor를 사용하여 CCD 자동 초점 전자 시스템을 달성하기 위해 Servomotor를 사용하여 Modular로 설계되어 유지 보수 및 개발을위한 Servomotor를 사용하여 CCD Observing System을 사용합니다. 추가 개발을 위해 많은 작업 모드를 제어 할 수 있습니다.
주요 기능
1. 스캔 헤드 및 샘플 스테이지는 함께 설계되었습니다.
2. 정밀 레이저 감지 및 프로브 정렬 장치 레이저 조정을 간단하고 쉽게 만듭니다.
3. 정밀 스캐닝 영역 위치를 실현하기 위해 샘플을 수동으로 또는 자동으로 접근하는 샘플을 구동하도록 서류 모터를 조정하십시오.
4. 고 진수력 및 광범위한 샘플 전송 장치는 흥미로운 샘플 영역을 스캔 할 수 있습니다.
5. 팁 점검 및 샘플 포지셔닝을위한 광학 관찰 시스템.
6. 전자 시스템은 모듈 식으로 설계되었으며 유지 보수 및 추가 개발을위한 쉬운 것입니다.
7. 진동 분리, 단순하고 좋은 성능을 위해 스프링을 채택하십시오.
사양
| 작업 | 접촉 모드, 마찰 모드, | 스캔 각도 | 무작위의 |
| 샘플 크기 | Ø≤90mm, H≤20mm | 샘플 움직임 | 0 ~ 20mm |
| 맥스. 주사 | X/Y : 20μm, Z : 2μm | 다가오는 모터의 맥박 폭 | 10 ± 2ms |
| 해결 | x/y : 0.2 nm, z : 0.05nm | 광학 시스템 | 배율 : 4 배, |
| 스캔 속도 | 0.6Hz ~ 4.34Hz | 데이터 포인트 | 256 × 256,512 × 512 |
| 스캐닝 | XY : 18 비트 D/A, Z : 16 비트 D/A. | 피드백 유형 | DSP 디지털 피드백 |
| 데이터 샘플링 | 14 비트 A/D 및 이중 16 비트 A/D 다중 채널 동시에 | ||
| PC 연결 | USB2.0 | 피드백 샘플링 속도 | 64.0kHz |
| 창 | Windows 98/2000/xp/7/8과 호환됩니다 | ||
기준
GB/T 2985-1991
실제 사진
